離子減薄儀該設(shè)備由小角度樣品旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高真空系統(tǒng)、高壓電源系統(tǒng)、快速氣動(dòng)換樣系統(tǒng)以及高能聚焦離子槍等主要部分組成。設(shè)備外觀(guān)美觀(guān)、操作方便，可靠性好，是從事材料科學(xué)研究所*的關(guān)鍵設(shè)備。

1.小角度樣品旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)

作為離子減薄儀的核心部分，因其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理、精巧實(shí)用，獲得了國(guó)家。其特點(diǎn)：

(1) 樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定，對(duì)離子束無(wú)遮擋

    該裝置采用了齒輪傳動(dòng)方式，用傳動(dòng)齒輪帶動(dòng)主齒 輪轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使安置在主齒輪上的樣品平穩(wěn)轉(zhuǎn)動(dòng)。該裝置避免了國(guó)內(nèi)外同類(lèi)產(chǎn)品中三柱式樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)及軸承傳動(dòng)旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)的缺點(diǎn)，使樣品臺(tái)不會(huì)在旋轉(zhuǎn)減薄過(guò)程 中遮擋離子束(Ion beam)，以及樣品旋轉(zhuǎn)不穩(wěn)定而導(dǎo)致樣品薄區(qū)表面不均勻等問(wèn)題。同時(shí)，該裝置還解決了因離子束撞擊樣品臺(tái)而污染真空室的問(wèn)題。

(2) 離子束掠射角小，樣品薄區(qū)大

    該系統(tǒng)采取了超薄型樣品臺(tái)設(shè)計(jì)，使樣品與離子束之間的掠射角同時(shí)減小到zui小角度(僅為1.5°)，因而被減薄樣品的薄區(qū)范圍比同類(lèi)產(chǎn)品所減薄樣品的薄區(qū)明顯增大，這也是該系統(tǒng)的主要特點(diǎn)之一。

(3) 系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊，樣品減薄速度高

    在離子槍的結(jié)構(gòu)上克服了目前同類(lèi)產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)缺陷,調(diào)近了離子槍與樣品的距離，達(dá)到了節(jié)約能源、提高減薄速度的效果。

(4) 樣品臺(tái)導(dǎo)熱性能好

    在樣品減薄過(guò)程中,由于高能離子束的沖擊作用，樣品的溫度會(huì)有所升高，針對(duì)這一問(wèn)題，樣品臺(tái)采用特制導(dǎo)熱性能良好的材料，從而降低了樣品的溫升，這樣保證了樣品在減薄過(guò)程中不會(huì)發(fā)生相變。

 2.高真空系統(tǒng)

    由于系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊、小巧，使真空室體積大大縮小，提高了系統(tǒng)抽真空的速度及真空度，為減薄樣品創(chuàng)造了有利條件。

 3.高壓電源系統(tǒng)

    系統(tǒng)采用國(guó)外進(jìn)口元器件，性能優(yōu)良，安全可靠，使用壽命長(zhǎng)。電源高壓穩(wěn)定，電壓可隨意調(diào)節(jié)，并實(shí)現(xiàn)了高壓故障自動(dòng)保護(hù)。

4.快速氣動(dòng)換樣系統(tǒng)

    為了減少因更換樣品而影響樣品減薄時(shí)間及系統(tǒng)抽真空時(shí)間，特別設(shè)計(jì)了快速氣動(dòng)換樣系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了在不影響系統(tǒng)真空的條件下，快速更換樣品的目的。